331 切欠き付きシリコン微小試験片の曲げ強度の評価(マイクロ材料)
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概要
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Four-points bending micro specimen with V-groove notch were fabricated to perform strength tests of microstructures for micromachine elements. The V-groove notch was formed by the photo lithography and the anisotropic etching on specimen made of (100) single-crystalline silicon wafer. Assuming that the crack length equals the notch depth, because that the notch root had a radius of curvature of submicron order, the fracture toughness was obtained by static bending testing. The fracture toughness of single-crystalline silicon shows nearly constant value except for extremely shallow notch.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-06-23
著者
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