C151 半導体の洗浄・乾燥プロセスにおけるマランゴニ対流の効果

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概要

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• In solid/liquid/gas interfaces, with gas dissolution, absorption or adsorption phenomena, marangoni convection which is resulted from concentration difference and temperature difference is expressed. External force such as liquid frequency, micro gravity is operating in this region, a meniscus of edge becomes a thin film and, it is observed that intense flow is developed due to a concentration difference. There are various heat and mass transfer processes with marangoni convection. Among those processes, in this report, our purpose is to clarity phenomena which is to cleaning and drying semiconductors on manufacturing process.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-11-10

著者

• 宮本 泰治

  大日本スクリーン製造株式会社

• 宮本 泰治

  芝浦工大院

• 鴨志田 隼司

  芝浦工大

• 片山 明人

  Applied Materials Japan Co

• 鴨志田 隼司

  芝浦工業大学 工学部 機械工学第二学科

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