レーザによる微小粒子分析技術の改良
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概要
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This paper describes two methods for increasing the accuracy and sensitivity of a particle analyzer using a laser. One is a compensation system that reduces dispersion of signals caused by the Gaussian profile of a laser beam's intensity cross section. It consists of an optical system that measures the strength and position of scattered light and a real-time compensation circuit. The other method usea a flat-beam optical system that allows weak fluorescence to be detected by a low-power laser. It splits a Gaussian laser beam by a Wollaston prism and creates a region where beam strength is uniform by directing two beams at a focal point.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1994-05-25
著者
-
三宅 亮
(株)日立製作所機械研究所
-
大木 博
(株)日立製作所 機械研究所
-
大木 博
(株)日立製作所笠戸工場
-
三宅 亮
日立 機械研
-
山崎 功夫
(株)日立製作所計測器グループ
-
金子 紀夫
(株)日立製作所電子デバイス製造システム推進本部
-
片岡 慶二
日立工機(株)
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三宅 亮
(株)日立製作所 機械研究所
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