BeO添加SiC焼結体の特性に及ぼす製造条件の影響
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概要
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The manufacturing conditions, such as the amount of BeO sintering aid, the temperature and the pressure of hot-pressing on SiC ceramics having high thermal conductivity and high electrical resistivity were studied. SiC ceramics with addition of 2.0 wt%. of BeO hot-pressed at 2050℃, 30 MPa for I h gave the high thermal conductivity of 270 W/m・K and the high electrical resistivity of 4 x 10^<13> Ω・cm. The effects of impurities were also studied. The BN addition decreased the thermal conductivity, while AnN caused the decrease of the electrical resistivity.
- 1991-07-01
著者
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松下 安男
(株)日立製作所日立研究所
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中村 浩介
(株)日立製作所日立研究所
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竹田 幸男
(株)日立製作所日立研究所
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竹田 幸男
(株)日立製作所日立研究所:(現)ジャテック(株)
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竹田 幸男
(株)日立製作所
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松下 安男
(株)日立製作所
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中村 浩介
(株)日立製作所
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