チタン酸バリウムストロンチウムナノ粒子添加によるチタン酸ジルコン酸鉛薄膜の低温結晶化
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概要
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Ferroelectric lead zirconate titanate (PZT) thin films containing crystalline seeds of barium strontium titanate (BST) nanoparticles were prepared by the complex alkoxide precursor method on indium titanium oxide (ITO) glass electrodes. The PZT films approximately 500 nm thick at BST particle concentrations of 0-34.2 mol% were fabricated with a spin-coating method and annealed at various temperatures. A non-seed ed PZT film was crystallized into a perovskite structure by annealing at 500℃. The seeding with the BST particles promoted crystalline growth of PZT perovskite around the seeds, and lowered the crystallization temperature of the PZT films to 420℃.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-10-01
著者
-
今野 幹男
東北大学大学院工学研究科 化学工学専攻
-
小林 芳男
東北大学大学院 工学研究科 化学工学専攻
-
棚瀬 智和
Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University
-
三輪 崇夫
(株)日立製作所日立研究所
-
今野 幹男
東北大学工学部
-
飯塚 祐介
東北大学大学院工学研究科
-
棚瀬 智和
東北大学大学院工学研究科
-
西片 亜矢子
東北大学大学院工学研究科
-
三輪 崇夫
日立製作所日立研究所
-
棚瀬 智和
Department Of Chemical Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University
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