浮上式流動層CVDによるTiN-Al_2O_3系複合粉末の合成
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概要
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A TiN-Al_2O_3 composite powder was synthesized by the floating-type fluidized- bed C VD. Al_2O_3 particles were floated in an N_2/NH_3 gas mixture, and TiCl_4 was fed to deposit TiN. The composite powders obtained and the ceramics were examined by an electron probe microanalyzer (EPMA) . The TiN content in the composite powder was controlled by the flow rate of carrier gas of TiCl_4. It was deduced that the composite powder was formed by deposition of fine TiN particles onto Al_2O_3 particle surfaces, aggregating to about 3 μm. Ceramic from the composite powder containing 12. 5 wt% TiN was conductive. Its microstructure suggested that TiN was uniformly dispersed as compared with mechanical mixing.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1989-12-01
著者
-
齋藤 夏風
新潟大学工学部化学システム工学科
-
堀田 憲康
新大・工・化学システム
-
木村 勇雄
新大院・自然・材料生産システム
-
木村 勇雄
新潟大学工学部化学システム工学科
-
堀田 憲康
新潟大学工学部化学工学科
-
堀田 憲康
新潟大学工学部化学システム工学科
-
堀田 憲康
新潟大学工学部工業化学科
-
一箭 健治
新潟大学工学部化学工学科
-
斉藤 夏風
新潟大学工学部工業化学科
-
木村 勇雄
新潟大学工学部
-
堀田 憲康
新潟大学工学部
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