SrTiO_3半導体セラミックスに及ぼす還元ガス中の酸素分圧の影響
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概要
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SrTiO_3 ceramics were sintered under various oxygen partial pressures. The relationship between the oxygen partial pressure and properties of sintered samples was investigated by TEM, EDX and XRD measurements. At lower oxygen partial pressure, the Ti_8O_<15> phase about 5 μm in diameter existed at triple points. On the contrary, at higher oxygen partial pressure the Ti_3O_5 phase about 0.5 μm in diameter existed at triple points. The stability of Magn6li phases was discussed on the basis of thermodynamic data. Lowering of oxygen partial pressure resulted in an increase in oxygen vacancies and lattice parameters and further in a decrease in electric resistivity.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1994-09-01
著者
-
田中 順三
無機材質研究所
-
田中 順三
科学技術庁無機材質研究所
-
高尾 哲
住友金属テクノロジー(株) 材料評価部
-
浜野 明弘
住友金属工業(株)総合研究開発センター
-
柴垣 茂樹
住友金属工業(株)研究開発本部
-
田中 順三
物質・材料研究機横物質研究所
-
柴垣 茂樹
住友金属工業(株)エレクトロニクス技術研究所
-
浜野 明弘
住友金属工業 未来技研
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