31a-T-8 ハロゲン吸着Si(100)のエッチングに関する第一原理計算

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-03-17

著者

• 相澤 秀昭

  北大創成

• 常行 真司

  東大物性研

• 相澤 秀昭

  東大物性研

• 荻津 格

  東大物性研

• 荻津 格

  東京大学物性研究所

• 荻津 格

  東大物性研:イリノイ大

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