7a-PS-22 Si(100)表面エッチングにおける吸着子の役割

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-09-16

著者

• 相澤 秀昭

  北大創成

• 常行 真司

  東大物性研

• 相澤 秀昭

  東大物性研

• 荻津 格

  東大物性研

• 荻津 格

  東京大学物性研究所

• 荻津 格

  東大物性研:イリノイ大

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