3a-K-1 イオンビームスパッターリング法による薄膜ターゲットの製作

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1982-09-14

著者

• 菅井 勲

  東大核研

• 菅井 勲

  KEK

• 鷲尾 幸夫

  東大核研

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