28a-YM-2 Si(001)表面上のGeエピタキシャル成長膜の格子歪み

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-09-05

著者

• 酒井 朗

  Nec基礎研究所

• 井手 隆

  NECデバイス評価技術研究所

• 清水 啓次

  NECデバイス評価技術研究所

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