25pB-9 負イオンビームデポジション装置の減速部でのビーム発散

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 和田 元

  同志社大工

• 粕谷 俊郎

  同志社大工

• 大森 弘貴

  同志社大工学部

• 笹岡 典史

  同志社大工学部

• 笹岡 典史

  同志社大・工

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