負パルス印加電極表面に流入するイオンのエネルギー分布

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概要

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• 1997-11-18

著者

• 和田 元

  同志社大学工学部

• 粕谷 俊郎

  同志社大学大学院工学研究科

• 大森 弘貴

  同志社大工学部

• 大森 弘貴

  同志社大学

• 和田 元

  同志社大学

• 粕谷 俊郎

  同志社大学

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