25p-Q-1 1.3MeV超高分解能電子顕微鏡によるSi中の微小欠陥の観察

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-03-11

著者

• 松井 良夫

  無機材研

• 堀内 繁雄

  無機材研

• 堀内 繁雄

  三菱ガス科学(株)総合研究所

• 松井 良夫

  科学技術庁・無機材質研究所

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