413 O_2^+, N_2^+, Cs^+ イオンによる各種金属のスパッタリング収率(元素分析, 表面分析, 分析・表面処理, 日本鉄鋼協会第 114 回(秋季)講演大会)

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概要

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• 社団法人日本鉄鋼協会の論文
• 1987-09-04

著者

• 源内 規夫

  (株)コベルコ科研

• 建石 剛

  (株)コベルコ科研

• 中沢 純郎

  (株)コベルコ科研

• 源内 規夫

  コベルコ科研

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