スレーブに圧電アクチュエータをもつバイラテラルサーボ機構

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概要

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• Micromanipulator technologies have been developed in various fields such as micromachine production, medical operation and so on. In these fields it is necessary to obtain not only micro displacement information but also sensitivity to minute reactional forces. Hysteresis linearization on piezoelectric actuator is achieved by the computer control, including turns at arbitrary points.The compensation method for the transmission error is assumed to be effective also in case that different type manipulators are used on each side.

• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2002-01-05

著者

• 藤木 信彰

  金沢工業大学工学実技教育コア

• 藤木 信彰

  金沢工大

• 藤木 信彰

  金沢工業大学

• 神崎 一男

  金沢工業大学 機械物質系

• 松田 隆一

  金沢工業大学工学部

• 西村 康典

  CKD(株)

• 松田 隆一

  金沢工業大学

• 神崎 一男

  金沢工業大学

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