3点法真円度測定法における検出子間の特性ずれの影響
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概要
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In the field of the surface profile measurement, the software datum is used to realize high accuracy beyond the limit of the hardware accuracy of instrumentations. 3-point method is the typical software datum for the roundness measurement. This paper reports the influence of the difference of the gain and the spatial frequency response between sensors. As the result of simulations, the difference of the characteristics affects the measured result when the gain of the weighted addition in the spatial frequency domain is almost zero.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1999-03-05
著者
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