Fraunhofer 回折による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 : 光学系誤差の補正法
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-03-05
著者
-
林 和志
(株)東京精密
-
三好 隆志
大阪大学工学部
-
高谷 裕浩
大阪大学工学部
-
荒井 正敏
(株)東京精密
-
瀬高 雅文
(株)東京精密
-
三好 隆志
大阪大学工学研究科
-
高谷 裕浩
大阪大学工学研究科
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