荒井 正敏 | (株)東京精密

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概要

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関連著者

• 荒井 正敏

  (株)東京精密

• 林 和志

  (株)東京精密

• 三好 隆志

  大阪大学工学部

• 高谷 裕浩

  大阪大学工学部

• 瀬高 雅文

  (株)東京精密

• 三好 隆志

  大阪大学工学研究科

• 高谷 裕浩

  大阪大学工学研究科

著作論文

• Fraunhofer 回折による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 : 光学系誤差の補正法
• 表面形状測定技術 : 概要と触針式測定法
• 粗さ規格の動向と二次元評価パラメータについて

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