二波長位相シフト干渉法による微細表面形状計測
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
There are some techniques which combine phase-shifting interferometry and two-wavelength interferometry. In this paper, a new algorithm that is called fringe-counting two-wavelength method is presented for the technique. In this algorithm, integer fringe orders are counted on the basis of the fringe patterns for the two wavelengths and fractional orders are determined from one of the two fringe patterns. The algorithm is compared with the equivalent wavelength method through discussion and simulation. An experimental measuring system was constructed with the measuring range of 3μm. The results of measurements for a polished surface with an indentation and a surface with steps comfirm the above comparison.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-09-05
著者
-
岩田 耕一
大阪府立大学工学研究科
-
岩田 耕一
大阪府立産業技術総合研究所
-
西川 尚之
大阪府立大学工学部:(現)松下電工(株)
-
高安 拓朗
大阪府立大学工学部
-
高安 拓朗
大阪府立大学工学部:(現)日本電気(株)
関連論文
- 高出力レーザビーム整形のためのマルチレベル銅CGHの製作
- 炭酸ガスレーザビーム整形のための曲面上CGHの製作
- 高出力炭酸ガスレーザ用回折型ビーム整形素子の開発
- 力曲線測定のための高減衰マイクロカンチレバー : 第2報 一体化ポリイミドカンチレバーの作成
- レーザ表面改質のためのビームシェイピング : 曲面上ホログラムの検討
- 曲面上ホログラムを用いた炭酸ガスレーザビームシェイピング : 設計と評価
- 曲面上ホログラムを用いた炭酸ガスレーザビームシェイピング : ホログラム作成
- 力曲線測定のための高減衰マイクロカンチレバー
- 力バランス型AFMによるForce Curveの面分布測定
- ホログラフィーによる断面形状の測定 : ホログラフィーシンポジウム
- ホログラフィ干渉法によるプレート固定された人けい骨の変形測定
- ニアフィールド光学走査顕微鏡におけるカンチレバー型プローブの熱変形振動
- 微分干渉計を用いた光CT法による屈折率分布の時間的変化の測定
- 高出力炭酸ガスレーザビーム整形のための銅曲面上マルチレベルCGH
- CGHを用いて整形したビームによる鉄鋼材料の表面処理 : 整形ビームを用いた場合の溶融特性の変化
- 401 サブ波長格子を用いた微小波長板アレイによる偏光画像計測(GS-16 精密計測・精密加工)
- 回折型光学素子を用いた高出力レーザのビーム整形に関する研究
- マルチレベルCGHによる炭酸ガスレーザビームシェイピング
- 拡大記録ディジタルホログラムとその再生像
- ICOSN 2001開催報告
- お祝いの言葉
- シアリング干渉計による画像計測
- 21世紀に向けての日本光学会
- 回折光学における最近の話題
- Phase-Shifting X-Ray Shearing Interferometer
- 旋光性物体に対する透過型複屈折トモグラフィ -フーリエ変換法による数値シミュレーション-
- 偏光画像計測システム (特集 偏光・複屈折における最近の話題)
- 技術の進歩と理科離れ
- ホログラフィー干渉法の顔面骨変形測定への適用
- 光干渉法による大段差のナノメートル計測
- 2次元変位分布を用いたポアソン比測定
- 光ヘテロダイン法による振動の初期位相の測定
- 1-12 ホログラフィ干渉法による三次元超音波の波面の可視化(一般講演)
- X線干渉計 (特集 干渉計の最近の動向)
- 干渉法による透明体内部の測定
- 透過型光CT法による屈折率分布計測における微分干渉法と二光束干渉法の比較(機械力学,計測,自動制御)
- ロックイン検出によるスライス型2次主応力の差と方向の自動測定I
- 回折格子を用いた微分干渉計による屈折率再生光CT法
- 再回折法による光学的微分(V) : 光
- High-Density Rewritable Optical Disk Using Groove recording
- Optical Disk System Using a High-Numerical Aperture Single Objective Lens and a Blue LD
- 基準を必要としない形状測定法の研究 : 平面形体の円周上でのフィゾー干渉計による測定実験
- X線干渉計とその応用(光計測の新しい潮流)
- 規準を必要としない形状測定法の研究 -平面形体の円周上での測定法のフィゾー干渉計による検証実験-
- 波長より細かな格子構造による光制御
- アクティブな液晶光源を用いた形状計測
- 基準を必要としない形状測定法の研究 -フィゾー干渉計による平面形体の円周上での測定実験-
- 形状測定のための逐次多点法の一考察 : 直線形体の測定と平面形体の円周上での測定
- 基準を必要としない形状測定法の研究 : フーリエ展開による平面形体の円周上での測定
- プロジェクタを用いた三次元形状計測 : 段差を持つ物体の測定
- 基準を必要としない形状測定法の研究 -フーリェ展開による平面形体の円周上での測定の検証実験-
- 基準を必要としない形状測定法の研究 : 平面形体の円周上での測定法の検証実験
- 液晶プロジェクターを用いた三次元形状計測(第3報) -段差を持つ物体の測定-
- 段差のナノメートル計測
- ヘテロダイン干渉法による微小角の動的測定
- 基準を必要としない形状測定法の研究 : 平面形体の円周上での測定
- 光を使った計測 : 形状と変形
- 光を使った計測 : 長さと変位
- 複屈折レンズの光線追跡 (複屈折および屈折率の測定)
- 位相シフト格子投影による3次元形状測定法の誤差解析
- 2ピッチ格子投影による3次元形状計測
- 複屈折2重焦点レンズの光線追跡
- 複屈折性材料を用いた2重焦点レンズと共通光路干渉計
- 二波長位相シフト干渉法による微細表面形状計測
- しま走査干渉じま投影法による3次元形状計測
- 光路差をもつ光ヘテロダイン干渉計による光周波数変化の測定法
- 光学的等高線形成による形状の測定
- スペックルシアリング干渉法によるひずみ分布の測定 (応力・ひずみ測定)
- 一光束レ-ザ-・ドップラ-速度計の光学系の考察
- 水晶体屈折率分布の非破壊的測定法の検討
- 三次元的屈折率分布の測定II : 光
- Laser光を用いた光線追跡による家兎水晶体の光学的研究 : 光
- Schlirer定量法および干渉法を用いた家兎水晶体の光学的特性に関する研究 : 光
- 再回折法を用いた相関計 : 光
- 超精密加工表面の計測・評価技術 (塑性加工を取り巻く先端加工技術)
- 三次元屈折率分布の測定
- Multilevel Computer Generated Hologram on a Curved Surface Made of Copper for High Power CO2 Laser Beam Shaping
- 拡大記録ディジタルホログラムとその再生像