AC リニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第1報) : システムの構成と粗・微動制御
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概要
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A one-axis stage mechanism, driven by an AC linear motor and guided by a rolling ball guide, has been constructed. Non-contact drive and position-sensing are adopted. The dynamic characteristics of the stage are different in different displacement regions. Two different controls are designed for coarse and fine positioning by using different dynamic characteristics. A coarse positioning with 100 nm resolution, 200 mm/s maximum velocity and 250 mm stroke, and a fine positioning with better than 1 nm resolution without backlash are achieved. The switching from the coarse positioning to the fine positioning is studied.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-03-05
著者
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二見 茂
九州工大
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二見 茂
九州工業大学:安川電機
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二見 茂
新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト
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古谷 彰浩
新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト
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古谷 彰浩
新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト:(現)(株)安川電機製作所つくば研究所
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二見 茂
(株)安川電気
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