1107 ボールねじ駆動テーブルの2自由度制御系を用いた高速位置決め(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
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概要
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This paper describes a high-speed positioning that uses a two-degree-of-freedom control in a ball screw driving table. The ball screw driving table is used to semiconductor-fabrication equipments, so high acceleration, high speed, and high accuracy are demanded. The two-degree-of-freedom control consists a feedback control to decrease a positional error, and a feed forward control to speed up the table. And velocity feedback control is added to control the table vibration. The control system is designed by the simulation that uses two-inertia model. High speed positioning of the table is verified by the experiment.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-21
著者
-
田中 義人
名古屋大学太陽地球環境研究所
-
田中 義人
北九州高専
-
浜松 弘
北九州高専
-
二見 茂
九州工大
-
辻 輝生
九州工大
-
田中 義人
北九州工業高等専門学校 制御情報工学科
-
辻 輝生
福岡工業大学
-
田中 義人
神戸市兵庫商高
-
二見 茂
(株)安川電気
-
浜松 弘
北九州高専工
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