古谷 彰浩 | 新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト:(現)(株)安川電機製作所つくば研究所

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関連著者

• 二見 茂

  九州工大

• 二見 茂

  九州工業大学:安川電機

• 二見 茂

  新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト

• 古谷 彰浩

  新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト

• 古谷 彰浩

  新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト:(現)(株)安川電機製作所つくば研究所

• 二見 茂

  (株)安川電気

著作論文

• AC リニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第2報) : 転がり案内のトライボロジー
• AC リニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第1報) : システムの構成と粗・微動制御

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