一体構造のX-Y方向超微小変位 ・ 微小角度設定装置
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1978-05-05
著者
-
沢辺 雅二
計量研究所
-
豊山 晃
東京工業大学精密工学研究所
-
津田 展宏
計量研究所
-
中野 健一
都立工業技術センタ
-
中野 健一
東京都立工業技術センター:表面粗さの表示方式の標準化に関する調査委員会
-
豊山 晃
東京工業大学工学部
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