光学的反射方式による表面粗さ測定の研究
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概要
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本研究は表面粗さ測定のための光学的反射方式に関するものである.一定距離にある表面からの反射光強度を測定するために, ここでは本来垂直方向の変位計であるオプトマイクロメータを用いる方法を提案する.また相対的反射光強度と表面粗さのパラメータの関係を波動光学的理論により定式化する.理論によれば, 表面形状は粗さの絶対値および方向性により4つのモデルに分類され, なめらかな表面については平均粗さが, 粗い表面については平均傾斜が, それぞれの反射光強度を決定する.中心線平均粗さRa=0.02〜2.1μmの様々な加工表面を用いて実験を行った結果, 本測定方法および理論の正当性が検証され, 光学的反射方式の有効性が明らかになった.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1982-11-05
著者
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