一体構造の縮小機構つき複合平行ばね
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概要
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超LSI用マスク検査のために用いられる, 一体構造の縮尺機構つき複合平行ばねを試作した.寸法は270x170×30(mm)であり, 座ぐり等の機械加工ののち, 真空熱処理を施し.ひずみをとり, CNCワイヤカット放電加工機に98hかけて仕上げられた.また載物部がdだけ変位するのに要する力Fを理論的に求めた.例えばd=10μmのときF=10.56N要するが, 実験によると7.3Nであったので7割程度一致する.縮尺比についても設計値0.125に対し, 測定値0.122とよく一致した.ピッチ, ヨウは50μmのダイナミックレンジで市販のオートコリメータでは空気のゆらぎ量と区別できないほど微量であった.NBSから報告のあったこの種のステージがピッチ, ヨウそれぞれAl製0.2″, 1.0;インバー製0.8″, 0″存在したことを考慮すると極めて良好な結果である.これはサンプルが搭載される台として複合平行ばねを利用しピッチを少なくし, そして縮尺部が左右対称とする構造であることでヨウを消すことにつとめたことにほかならない.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1982-06-05
著者
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