精密移動台のナノメートル精度真直度特性 : 一体構造平行ばね, 静圧空気軸受, 極低線膨張材料製真直度測定機, 滑車と糸車駆動すべり軸受について
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-02-05
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