光学式変位センサを用いた三次元測定機用微小接触プローブの試作
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概要
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In recent years there has been growing commercialization of small size devices. The present work describes the method of three-dimensional measuring for small parts by low contact force. Small touch probe consists of quartz sphere (φ0.125mm), stylus (ength 2mm, φ0.lmm), cross sheet (thickness 0.01mm, width 1.25mm) and optical displacement sensor. Touch probe was able to detect the coordinate from transformation of cross sheet center, which was generated at the contact point. Probe touched the object surface, and x, y and z numerical values were obtained. Being employed ring gage, as test specimens, the standard deviation was 1μm.
- 社団法人 電気学会の論文
- 1998-04-01
著者
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