AFM の試作と回折格子の形状測定

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概要

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• We have succeeded in constructing AFM using an optical fibre and a lever. Our AFM has a silicon dioxide V-shaped microcantilever with sharper tip radius than a commercial pyramid shape one by the silicon processing techniques combined with newly realized not only anisotropic etching but iso-one Si(100) surfaces. One of other superior techniques is that the output laser power through the optical fibre is controlled to be constant within more or less 1.0% by use of AOM (acoustic optical modulator). We also try to observe AFM images of PMMA (polymethyl metha acrylate) gratings which is soft material and to discuss the image differences when we use both the bigger protrusion on the lever and the smaller one.

• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1991-09-05

著者

• 山田 啓文

  計量研究所

• 津田 展宏

  計量研究所

• 津田 展宏

  東海大学工学部

• 佐藤 秀寿

  東北大学工学部

• 加道 博行

  松下電器産業(株)

• 加道 博行

  松下電器産業(株)部品材料基礎研究所

• 単 学伝

  東北大学工学部

• 打田 忠

  千葉大学工学部

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