0.8μmル-ルで製作されたMOS-LSI試料の電子線音波顕微鏡による非破壊・内部観察

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概要

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• 長崎大学の論文

著者

• 竹野下 寛

  長崎大学教育学部

• 竹野下 寛

  長崎大学教育学部技術講座

• 竹野下 寛

  長崎大学教育学部工業技術教室

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