真空アークプラズマを用いたDLC:Si:H膜の合成
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-06-28
著者
-
安井 治之
石川県工業試験場
-
須田 善行
豊橋技術科学大学
-
滝川 浩史
豊橋技術科学大学
-
田上 英人
豊橋技術科学大学
-
神谷 雅男
豊橋技術科学大学
-
瀧 真
オンワード技研
-
長谷川 祐史
オンワード技研
-
辻 信広
オンワード技研
-
奥田 浩史
豊橋技術科学大学
-
内藤 翔太
豊橋技術科学大学
-
石川 剛史
日立ツール
-
柳田 太一郎
豊橋技術科学大学
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