スパッタ成膜中のAr, Xeイオン衝撃がNi薄膜の特性に及ぼす影響
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概要
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- 2012-05-01
著者
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松村 義人
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
-
松村 義人
東海大学工学部原子力工学科
-
篠原 義明
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
-
林田 史彦
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
-
郡 亜美
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
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