NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御
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概要
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- 2012-04-01
著者
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菅原 広剛
北海道大学
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村山 明宏
北海道大学大学院情報科学研究科
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菅原 広剛
北海道大学 大学院情報科学研究科 情報エレクトロニクス専攻集積システム講座 集積プロセス学研究室
-
吉田 拓平
北海道大学 大学院情報科学研究科 情報エレクトロニクス専攻集積システム講座 集積プロセス学研究室
-
櫻井 洋平
北海道大学 大学院情報科学研究科 情報エレクトロニクス専攻集積システム講座 集積プロセス学研究室
-
村山 明宏
北海道大学 大学院情報科学研究科 情報エレクトロニクス専攻集積システム講座 集積プロセス学研究室
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