SiN_x保護膜を有するCNT-FETを用いたCMOSインバータの開発

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概要

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• 2010-02-15

著者

• 岸本 貴臣

  大阪大学産業科学研究所

• 大野 恭秀

  大阪大学産業科学研究所

• 前橋 兼三

  大阪大学産業科学研究所

• 井上 恒一

  大阪大学産業科学研究所

• 松本 和彦

  大阪大学産業科学研究所

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