MEMSマイクロミラーアレイによる非接触静電気分布測定システム

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概要

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• A micro-mirror array fabricated by MEMS process has been made for an electrostatic field distribution measurement system. Each micro-mirror is suspended by two thin torsion bars, which is made by using an SOI (Silicon on Insulator) wafer fabrication process. Deflection of each mirror by electrostatic field is measured optically by using a two dimensional optical scanner and a PSD (Position Sensitive Detector). The electrostatic field distribution measurement system was applied to a human body model.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2010-12-01

著者

• 栗山 敏秀

  近畿大学

• 青井 利一

  近畿大学

• 前田 裕司

  和歌山県工業技術センター

• 伊東 隆喜

  和歌山県工業技術センター

• 上野 吉史

  和歌山県工業技術センター

• 中家 利幸

  阪和電子工業株式会社

• 松井 信近

  阪和電子工業株式会社

• 奥村 浩行

  阪和電子工業株式会社

• 奥村 浩行

  阪和電子工業(株)

• 中家 利幸

  阪和電子工業(株)

• 松井 信近

  阪和電子工業(株)

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