High-k ゲート絶縁膜の信頼性

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2009-09-10

著者

• 佐藤 基之

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 佐藤 基之

  (株)半導体先端テクノロジーズ (selete)

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