超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発

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概要

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• 日本設計工学会の論文
• 2009-03-05

著者

• 平山 朋子

  同志社大学工学部

• 平山 朋子

  同志社大学

• 佐々木 勝美

  ピー・エス・シー(株)

• 平山 朋子

  同志社大学 理工学部エネルギー機械工学科

• 佐々木 勝美

  ピー・エス・シー

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