1104 空気圧サーボ軸受アクチュエータを用いた超精密位置決めXYステージの開発(潤滑剤・機械要素,一般講演)
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概要
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With the development in 1C technology, ultraprecise positioning on the nanometer order has been strongly required in semiconductor stepper equipment. To meet such demands, our laboratory developed 'pneumatic servo bearing actuator' as a new actuator for ultraprecise positioning. This actuator mainly consists of a pneumatic servo valve and an aerostatic thrust bearing. In this paper, we developed an ultraprecise positioning XY stage composed of six pneumatic servo bearing actuators. First, we investigated the basic performance of the actuator with a spherical bearing before assembling it to the XY stage. Second, we checked the specification of the developed XY stage, especially focusing on its minimum resolution.
- 2010-04-18
著者
-
松岡 敬
同志社大学
-
松岡 敬
同志社大
-
松岡 敬
同志社大学機械システム工学科
-
平山 朋子
同志社大学
-
檀上 弥輝
同志社大院
-
松岡 敬
同志社大学理工学部機械系学科
-
平山 朋子
同志社大学理工学部機械系学科
-
平山 朋子
同志社大
-
檀上 弥輝
同志社大
-
杉本 敦志
同志社大
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