TiO_2系透明導電体のスパッタ成膜技術
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概要
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- 社団法人表面技術協会の論文
- 2007-12-01
著者
-
長谷川 哲也
東大院理
-
長谷川 哲也
神奈川科学技術アカデミー
-
山田 直臣
(財)神奈川科学技術アカデミー 重点研究室透明機能材料グループ
-
山田 直臣
神奈川科学技術アカデミー(KAST)
-
一杉 太郎
東京大学 大学院理学系研究科
-
長谷川 哲也
東京大学 大学院理学系研究科
-
一杉 太郎
東北大wpi材料機構
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