二酸化チタン系透明電極材料の開発
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概要
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Recently, Nb-doped anatase TiO2 (Ti1-xNbxO2; TNO) was discovered to be a transparent conducive oxide (TCO) exhibiting metallic conductivity (resistivity as low as 10-3~10-4Ω cm at x=0.03~0.06) without sacrificing its visible transparency. TNO shows unique electronic, optical, and chemical properties which conventional TCOs do not possess. Thus, TNO has gained increasing attention as a next-generation TCO. In this article, recent developments in TNO thin films are presented. In addition, prospective applications of TNO are also discussed.
- 2012-02-00
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