Cu配線のエレクトロマイグレーション特性

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概要

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• 2000-04-07

著者

• 菅谷 慎二

  富士通

• 菅谷 慎二

  富士通株式会社プロセス開発部

• 矢内 賢一

  富士通(株)品質保証統括部

• 松山 英也

  富士通(株)品質保証統括部

• 庄野 健

  富士通(株)品質保証統括部

• 渡邉 健一

  富士通(株)ULSI開発部

• 大塚 敏志

  富士通(株)ULSI開発部

• 菅谷 慎二

  富士通(株)ULSI開発部

• 庄野 健

  富士通株式会社

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