ゲート酸化膜信頼性の形状効果の新しい予測モデル
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概要
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酸化膜信頼性の新しいシミュレーション方法を開発した。本法は酸化膜の信頼性がゲートの面積、幅、長さに影響を受ける事に着目し、これらの効果を式化し、QBDをシミュレーションするものである。また式の係数抽出のため、ゲートの面積、幅、長さを独立変数として扱える試験パターンを作成した。このパターンを用いQBDを実測した値より、シミュレーション式の係数を重回帰分析法により抽出した。実験結果と計算結果は良く一致した。またLSIの世代ごとのQBDをシミュレーションした結果、QBDはゲート長つまりLOCOS・バーズビークの影響を強く受けることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-03-18
著者
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