高ドライエッチング耐性を有するArF化学増幅型レジストの開発
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概要
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- 1997-12-04
著者
-
岩佐 繁之
日本電気(株)環境・材料研究所
-
前田 勝美
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
中野 嘉一郎
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
岩佐 繁之
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
岩佐 繁之
日本電気(株)基礎・環境研究所
-
長谷川 悦雄
日本電気(株)機能エレクトロニクス研究所
-
長谷川 悦雄
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
前田 勝美
日本電気(株)ナノエレクトロニクス研究所
-
中野 嘉一郎
日本電気(株)ナノエレクトロニクス研究所
-
岩佐 繁之
日本電気(株)グリーンイノベーション研究所
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