非共役環状ジエン-無水マレイン酸交互共重合体から誘導されたカルボン酸構造を有する脂環式ポリマーのArF用レジストへの応用
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概要
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- 1997-12-04
著者
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土屋 裕子
(株)日立製作所中央研究所
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山中 良子
日立製作所 中央研究所
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服部 孝司
日立製作所 中央研究所
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服部 恵子
(株)日立製作所
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白石 洋
(株)日立製作所中央研究所
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土屋 裕子
(株)日立製作所
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服部 孝司
(株)日立製作所
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山中 良子
(株)日立製作所
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白石 洋
(株)日立製作所
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