服部 孝司 | 日立製作所 中央研究所

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概要

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• 服部 孝司

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著作論文

• 化学増幅型レジストに及ぼす窒化シリコン膜表面水酸基の影響
• 非共役環状ジエン-無水マレイン酸交互共重合体から誘導されたカルボン酸構造を有する脂環式ポリマーのArF用レジストへの応用

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