フレキシブルディスプレイ形成時の内部応力による諸現象

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2011-06-10

著者

• 服部 孝司

  (株)日立製作所

• 服部 孝司

  (株)日立製作所 中央研究所 ナノプロセス研究部

関連論文

• 非共役環状ジエン-無水マレイン酸交互共重合体から誘導されたカルボン酸構造を有する脂環式ポリマーのArF用レジストへの応用
• フレキシブルディスプレイ形成時の内部応力による諸現象

スポンサーリンク