再酸化窒化酸化膜の構造と電気特性

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概要

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• 1995-05-25

著者

• 安藤 公一

  NEC エレクトロニクス(株)

• 長谷川 英司

  Necエレクトロニクス(株)

• 長谷川 英司

  日本電気(株)

• 安藤 公一

  日本電気(株)

• 北方 誠

  日本電気(株)

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