シリコン酸化膜界面の構造遷移層

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1993-11-10

著者

• 秋本 晃一

  「応用物理」編集委員会

• 長谷川 英司

  日本電気(株)

• 長谷川 英司

  日本電気(株)ulsiデバイス開発研究所

• 秋本 晃一

  日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所

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