背面堆積パルスイオンビーム蒸着法による強誘電体材料の薄膜化

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概要

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• 1999-09-08

著者

• 江 偉華

  長岡技科大工

• 八井 浄

  長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター

• 八井 浄

  長岡技科大・工

• 八井 浄

  長岡技科大

• 偉華 江

  長岡技術科学大学電気系 同粒子ビーム工学センター

• Yatsui K

  Technological Univ. Nagaoka Nagaoka Jpn

• 曽根川 富博

  琉球大

• 前濱 剛廣

  琉球大学工学部

• 大友 勝彦

  長岡技科大

• 新垣 利喜

  琉球大

• 江 偉華

  長岡技科大

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