透過電子顕微鏡法を用いた気相合成ナノ粒子の構造評価
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概要
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A framework is presented for understanding the performance of modern analytical and high-resolution microscopy techniques, which are applicable to nano scale particle evaluation. With sub-nano meter spatial resolution, modern microscopy techniques could provide critical feedbacks on the fabrication processes, for example, direct measurement of particle size and its distribution, morphology, crystallinity and surface condition of nano particles. This paper discusses the practical application of modern microscopy techniques to laser-synthesized ultra-fine silicon and iron particles, i.e., the structural evaluation and the direct quantitative chemical analysis of surface oxide layer on nano particles.
- 日本エアロゾル学会の論文
- 2005-06-20
著者
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瀬戸 章文
(独)産業技術総合研究所
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瀬戸 章文
独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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村山 光宏
物質・材料研究機構超鉄鋼研究センター
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村山 光宏
(独)物質・材料研究機構 超鉄鋼研究センター 金相グループ
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瀬戸 章文
金沢大学
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瀬戸 章文
産業技術総合研究所マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター
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瀬戸 章文
産業技術総合研究所
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瀬戸 章文
金沢大学理工学域
-
瀬戸 章文
金大
-
瀬戸 章文
金沢大
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